Spotlights der Mikro- und Nanotechnologien
Spotlights der Mikro- und Nanotechnologie
Wet Chemical Processes 2.Teil
Teil 32: Wet Chemical Processes 2.Teil – Nasschemische Ätz- und Reinigungsprozesse in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
Erhalten Sie in diesem Spotlight vertiefende Einblicke in die wesentlichen nasschemischen Prozesse, die für die moderne Mikro- und Nanotechnologie von zentraler Bedeutung sind:
Die wichtigsten nasschemischen Ätzprozesse in der Siliziumtechnologie
Anwendungen dieser Verfahren für die Reinigung in der Silizium-Chipfertigung
Methoden der nasschemischen Photolackentfernung
Die verschiedenen Anlagen, in denen diese Fertigungsprozesse durchgeführt werden
Praxisnahe Einblicke, um Ihr Fachwissen direkt anzuwenden
Referent: Dr. Gerfried Zwicker – ehemaliger Leiter der CMP-Arbeitsgruppe am Fraunhofer ISIT in Itzehoe und seit 2019 freiberuflicher Consultant für Siliziumtechnologie und CMP.
Curriculum Vitae
Dr. Gerfried Zwicker hat Physik an der TU-Berlin studiert und für seine Doktorarbeit am Fritz-Haber-Institut der Max-Planck-Gesellschaft auf dem Gebiet der Oberflächenphysik gearbeitet. 1985 wechselte er zum Fraunhofer Institut für Mikrostrukturtechnologie IMT und war verantwortlich für unterschiedliche Aspekte der CMOS Techologie und Halbleiterfertigung. Seit 1995 leitete er die Arbeitsgruppe für Chemisch-Mechanisches Polieren CMP in der MEMS Abteilung des Fraunhofer Instituts für Siliziumtechnologie ISIT in Itzehoe. Seit seinem Ruhestand 2019 berät er wissenschaftliche Einrichtungen und die Halbleiterindustrie in Siliziumtechnologie und CMP als freiberuflicher Consultant. Er unterstützt weiterhin die CMP community bei Workshops und Seminaren und ist Gastprofessor an der National Taiwan University of Science and Technology. Gerfried Zwicker ist Autor oder Co-Autor vieler Veröffentlichungen und von Kapiteln in Lehrbüchern über CMP und Nassprozesse.
Termin: Dienstag, 11. November · 09:00 – 11:00 Uhr
Zielgruppe: Die Veranstaltungsreihe richtet sich an Interessierte aus der Hightech-Branche und Fachleute aus den Bereichen Business Development, Forschung & Entwicklung, Geschäftsführung, Projekt- und Produktentwicklung sowie Technologie.
Spotlights der Mikro- und Nanotechnologien – jetzt anmelden!
Die digitale Veranstaltungsreihe bietet kompakte Updates zu aktuellen Entwicklungen in Mikro- und Nanotechnologien sowie branchenübergreifend relevanten Innovationen.
Organisiert von IVAM und dem RBZ Steinburg, findet sie jeden ersten Dienstag im Monat von 9 bis 11 Uhr statt – online und kostenfrei.
