Der Kurs Herstellung eines Kraftsensors beinhaltet eine ausführliche Einweisung in die Reinraumarbeit und die gemeinsame Durchführung der Prozessschritte für die Herstellung des mikrotechnischen Basisbauteils eines MEMS-Kraft-/Drucksensors. Bei den Prozessschritten handelt es sich um die thermische Silizium-Oxidation, das Dotieren mittels Diffusion, das Aufbringen verschiedener dünner Schichten, alle Einzelschritte der Photolithografie inklusive der darauffolgenden Strukturierungsprozesse, das Vermessen von elektrischen Widerständen als Funktionstest und das nasschemische anisotrope Ätzen von Silizium mit KOH. Anhand der Qualität der einzelnen Prozessschritte, die z.B. durch Mikroskopieren ermittelt wird, werden die Prozesseinflussgrößen untersucht.
Nach Vereinbarung
Die Forschungsschwerpunkte am IMT reichen von numerischen Simulationsverfahren über materialwissenschaftliche Basisuntersuchungen bis hin zur Entwicklung und Fertigung komplexer Mikrosysteme. Die Fragestellungen für die Mikrosystemtechnik kommen dabei typischerweise aus der interdisziplinären Forschung auf Feldern der Mechatronik, Verfahrenstechnik und der Lebenswissenschaften.
Die Erprobung dieses Kurses wird durch das Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt im Rahmen des Projekts skills4chips gefördert. Dadurch entstehen für Sie keine Teilnahmegebühren. Im Gegenzug verpflichten Sie sich, an der Evaluation des Kurses teilzunehmen.
PC mit Internetverbindung (Selbststudium)