Spotlights der Mikro- und Nanotechnologie: Wet Chemical Processes – Nasschemische Ätz- und Reinigungsprozesse

Das regionale Berufsbildungszentrum des Kreises Steinburg (RBZ) lädt ein zu der digitalen Veranstaltungsreihe Spotlights der Mikro- und Nanotechnologie. Die Veranstaltung wird regelmäßig jeden ersten Dienstag des Monats von 9 bis 11 Uhr stattfinden und soll Einblicke in verschiedene Themen und Aspekte der Mikro- und Nanotechnologien geben.

07. –

07. Okt., 2025

0,00 €

Inhalte & Beschreibung

Im Rahmen der digitalen Veranstaltungsreihe „Spotlights der Mikro- und Nanotechnologie“ beleuchtet Teil 31 wie sich Siliziumchips präzise strukturieren und reinigen lassen.
Dieses Spotlight vermittelt praxisnahes Fachwissen zu zentralen nasschemischen Prozessen der Halbleiterfertigung:

Referent Dr. Gerfried Zwicker, ehemaliger Leiter der CMP-Arbeitsgruppe am Fraunhofer ISIT und Consultant für Siliziumtechnologie wird am 07. Oktober.2025 von 9 bis 11 Uhr dieses Webinar leiten.

Lernziele und Kompetenzen

Sie erhalten vertiefende Einblicke in folgende Themen:

Die wichtigsten nasschemischen Ätzprozesse in der Siliziumtechnologie
Anwendungen dieser Verfahren für die Reinigung in der Silizium-Chipfertigung
Methoden der nasschemischen Photolackentfernung
Die verschiedenen Anlagen, in denen diese Fertigungsprozesse durchgeführt werden
Praxisnahe Einblicke, um Ihr Fachwissen direkt anzuwenden

Zielgruppe & Voraussetzungen

Die Veranstaltungsreihe richtet sich an Interessierte aus der Hightech-Branche und Fachleute aus den Bereichen Business Development, Forschung & Entwicklung, Geschäftsführung, Projekt- und Produktentwicklung sowie Technologie.

Anbieterinformationen

Das RBZ des Kreises Steinburg AöR (RBZ) ist als Anstalt öffentlichen Rechts eines der größten Aus- und Fortbildungszentren des Landes. Der Fachbereich Mikro- und Nanotechnologien ist überregionaler Kooperationspartner in der berufsbegleitenden Aus-, Fort- und Weiterbildung und der unternehmensinternen Personalentwicklung. Freuen Sie sich auf Dr. Gerfried Zwicker, ehemaliger Leiter der CMP-Arbeitsgruppe am Fraunhofer ISIT in Itzehoe und seit 2019 freiberuflicher Consultant für Siliziumtechnologie und CMP.

Organisatorische Informationen

Der 30. Termin der Veranstaltungsreihe „Spotlights der Mikro- und Nanotechnologien“ mit dem Schwerpunkt „Zukunftsfähige Beschichtungstechnologien für die Brennstoffzellen-Produktion“ findet am 09. September 2025 von 9 bis 11 Uhr als Online-Event via Zoom statt.

Die Teilnahme ist kostenfrei, eine vorherige Anmeldung ist jedoch erforderlich, um Ihren Platz zu sichern.

Referent:

Dr. Gerfried Zwicker hat Physik an der TU-Berlin studiert und für seine Doktorarbeit am Fritz-Haber-Institut der Max-Planck-Gesellschaft auf dem Gebiet der Oberflächenphysik gearbeitet. 1985 wechselte er zum Fraunhofer Institut für Mikrostrukturtechnologie IMT und war verantwortlich für unterschiedliche Aspekte der CMOS Techologie und Halbleiterfertigung. Seit 1995 leitete er die Arbeitsgruppe für Chemisch-Mechanisches Polieren CMP in der MEMS Abteilung des Fraunhofer Instituts für Siliziumtechnologie ISIT in Itzehoe. Seit seinem Ruhestand 2019 berät er wissenschaftliche Einrichtungen und die Halbleiterindustrie in Siliziumtechnologie und CMP als freiberuflicher Consultant. Er unterstützt weiterhin die CMP community bei Workshops und Seminaren und ist Gastprofessor an der National Taiwan University of Science and Technology. Gerfried Zwicker ist Autor oder Co-Autor vieler Veröffentlichungen und von Kapiteln in Lehrbüchern über CMP und Nassprozesse.

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